透射电子显微镜(TEM)是一种重要的材料表征手段 但是电子束会与材料散射,引起复杂的变化,甚至损伤材料 理解电子束和材料的相互作用,将有助于控制电子束带来的损伤。 相比于弹性散射,电子束与材料的非弹性散射过程更加复杂,而辐解(radiolysis)是最常见的非弹性散射过程 辐解主要有3个过程:
预测不同能级的电离分布 BED模型计算电离截面 可模拟不同能量的电子束
超快动力学过程 含退相干和细致平衡 可模拟断键过程
仅考虑库仑相互作用 无法包括芯能级 高能级电子直接电离