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电子束辐照分解

介绍

透射电子显微镜(TEM)是一种重要的材料表征手段
但是电子束会与材料散射,引起复杂的变化,甚至损伤材料
理解电子束和材料的相互作用,将有助于控制电子束带来的损伤。
相比于弹性散射,电子束与材料的非弹性散射过程更加复杂,而辐解(radiolysis)是最常见的非弹性散射过程
辐解主要有3个过程:
  1. 空穴非常靠近HOMO,HOMO的电子填补空穴并将能量缓慢传递给核
  2. 空穴离HOMO稍远,HOMO电子迅速填补空穴,可伴随断键
  3. 空穴很深,较深的电子填补空穴,能量传给HOMO的电子引起电离。

辐照分解:模拟电子束的非弹性散射过程

  1. Cross section(27)
预测不同能级的电离分布
BED模型计算电离截面
可模拟不同能量的电子束
  1. Hot carrier cooling(7)
超快动力学过程
含退相干和细致平衡
可模拟断键过程
  1. Auger Decay Rate(26)
仅考虑库仑相互作用
无法包括芯能级
高能级电子直接电离